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詳細摘要： QFR系列氣浮轉臺輕量化設計、有效降低高度、減小多軸系統集成情況下的阿貝誤差；提供高定位精度、高速度穩定性和納米級同步跳動。產品設計滿足晶圓加工及檢測、輪廓測量...

詳細摘要： QFL系列單軸氣浮運動臺，外形緊湊，全行程直線度±0.2μm，可作單軸使用，或與其它軸組成多軸系統，用于飛秒激光加工，測試測量，掃描、半導體及光子學等...

詳細摘要： RBZK系列雙軸中空精密運動臺是中空結構的，大尺寸通孔、高動態性能滿足晶圓檢測應用，同時適用于CCD成像、LED封裝檢測等其它制造等行業。

詳細摘要： QFHDS系列三軸超精密氣浮運動臺，XY軸平面式氣浮結構，Z軸交叉滾柱結構，用于半導體加工、檢測、微納加工等行業。

詳細摘要： RBN-XYZ系列是一款高精度的三軸精密運動臺，結構緊湊，亞微米級重復定位精度用于飛秒激光加工、光學制造及檢測、測試測量、半導體、光纖對準和科研等領域。

詳細摘要： QFL3D系列是一款結構緊湊的三軸氣浮運動臺，用于飛秒激光加工，超精密加工，測試測量，掃描、半導體及光子學對準等行業，由于非接觸式移動，精度高和結構緊湊是行業內...

詳細摘要： NOTE系列氣浮轉臺具有高定位、速度穩定性和同步納米級跳動誤差，可立式或臥式使用，出色的跳動誤差滿足晶圓加工及檢測、超精密加工、輪廓測量、高精度計量、光學檢測和...

詳細摘要： NOTE-AB軸系列氣浮轉臺，高精度的正交性和軸心線重合度、納米級跳動誤差，用于曲面精密加工、曲面測量等高精度行業。

詳細摘要： RBN系列單軸精密運動臺是一款高精度的精密運動臺，具有亞微米級精度，高動態性能，結構緊湊，用于晶圓加工及檢測、飛秒激光加工、光存儲、測試測量、光纖對準和科研等領...

詳細摘要： RBZ-SG系列是一款長行程的精密平升Z軸，具有納米級微動步距，高動態性能，結構緊湊，用于晶圓加工及檢測、飛秒激光加工、測試測量、生物工程等高精度行業。

詳細摘要： 五軸精密運動臺定制系統，型號RBXG-800-200-12D5-1R-15，用于晶圓加工、測量。行程800mm*200mm*12.5mm*1°*15m...

詳細摘要： RBN-Z-CG系列是一款高精度的精密Z軸，亞微米級重復定位精度，高動態性能，結構緊湊，用于晶圓加工及檢測、飛秒激光加工、光學制造和檢測、光纖對準和科研等領域。

詳細摘要： 三軸防水精密運動臺定制系統RBXG-FS-200-200-150Z用于需要水冷卻的超精密加工應用中，XY軸防水等級IPX6。

詳細摘要： QFU-170-360R雙軸氣浮運動臺定制系統用于非接觸式或接觸式測量。行程170mm*360°。

詳細摘要： RBN-VC-L系列是研發出的一款高精度的雙軸真空運動臺，具有納米級微動步距，亞微米級定位精度，適用于高真空10^-7 Torr環境下應用。