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詳細(xì)摘要： RBZK系列雙軸中空精密運(yùn)動臺是中空結(jié)構(gòu)的，大尺寸通孔、高動態(tài)性能滿足晶圓檢測應(yīng)用，同時適用于CCD成像、LED封裝檢測等其它制造等行業(yè)。

詳細(xì)摘要： RBN-XYZ系列是一款高精度的三軸精密運(yùn)動臺，結(jié)構(gòu)緊湊，亞微米級重復(fù)定位精度用于飛秒激光加工、光學(xué)制造及檢測、測試測量、半導(dǎo)體、光纖對準(zhǔn)和科研等領(lǐng)域。

詳細(xì)摘要： RBN-VC-L系列是研發(fā)出的一款高精度的雙軸真空運(yùn)動臺，具有納米級微動步距，亞微米級定位精度，適用于高真空10^-7 Torr環(huán)境下應(yīng)用。