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精密Z軸

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參考價10000-120000/件
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號

    RBN-Z-CG系列
  • 品牌

    其他品牌
  • 廠商性質(zhì)

    生產(chǎn)商
  • 產(chǎn)品資料

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  • 所在地

    北京市

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更新時間:2025-03-17 16:51:08瀏覽次數(shù):406

聯(lián)系我們時請說明是食品機(jī)械設(shè)備網(wǎng)上看到的信息,謝謝!

產(chǎn)品簡介

行程 100mm 重復(fù)定位精度 ±20nm
直線度和平面度 ±1.25μm內(nèi) 微動步距 ≤1nm
RBN-Z-CG系列是一款高精度的精密Z軸,亞微米級重復(fù)定位精度,高動態(tài)性能,結(jié)構(gòu)緊湊,用于晶圓加工及檢測、飛秒激光加工、光學(xué)制造和檢測、光纖對準(zhǔn)和科研等領(lǐng)域。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 非接觸式直驅(qū)結(jié)構(gòu)

  • 抗蠕變交叉滾柱導(dǎo)軌

  • 高百納米級定位精度

  • 納米級微動步距

  • 高動態(tài)響應(yīng)性能

  • 結(jié)構(gòu)行程可定制

產(chǎn)品細(xì)節(jié)圖


精密Z軸















結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

RBN-Z-CG系列精密Z軸側(cè)掛在龍門橫梁上使用,可與其它軸組成多軸系統(tǒng)。直驅(qū)結(jié)構(gòu),在低速時保持平穩(wěn),在高速時不產(chǎn)生振動。抗蠕動交叉滾柱導(dǎo)軌,滾柱間線接觸,比滾珠接觸面積大,交叉排列,多方向受力穩(wěn)定,該結(jié)構(gòu)可以把Z軸厚度降低,有利于行業(yè)應(yīng)用。


精度性能

非接觸式光柵閉環(huán)反饋,考慮熱膨脹和材料等影響,這種緊湊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),搭配高性能控制系統(tǒng),獲得高重復(fù)定位精度,重復(fù)定位精度±20nm,直線度和平面度±1.25μm內(nèi),是高精度場所的理想選擇。


微動步距

對有微動步距(最小位移量)要求的應(yīng)用領(lǐng)域,如對準(zhǔn)應(yīng)用等,微動步距≤1nm,對現(xiàn)場使用環(huán)境的要求,更多細(xì)節(jié)可聯(lián)系瑞邦精控。


定制化設(shè)計(jì)

根據(jù)應(yīng)用可定制行程、配置大理石基座、立柱、橫梁和隔振臺等整套系統(tǒng)方案。



規(guī)格參數(shù)


精密Z軸

精密Z軸

精密Z軸

注:

以上為單軸精度指標(biāo),在潔凈間內(nèi)測試,溫度20℃±1℃(重復(fù)定位精度優(yōu)于±50nm,測量時溫度20℃±0.01℃),濕度40%~60%RH,普通版振動等級VC-E,測試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處,測試速度10mm/s,Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法,多軸系統(tǒng)的精度測試與負(fù)載尺寸及測試點(diǎn)高度有關(guān),環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化,如要求非標(biāo)準(zhǔn)測試,請咨詢我們。

1. 取決于平臺安裝表面的平面度。

2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。

3. 空載條件下指標(biāo),MAX速度和加速度取決于負(fù)載大小。

4. 無特殊項(xiàng)目要求,出廠默認(rèn)為準(zhǔn)。


售后服務(wù)


質(zhì)保期為驗(yàn)收合格后12個月。

我公司在2小時內(nèi)響應(yīng)維護(hù)服務(wù),24小時內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場維護(hù),為更好的做產(chǎn)品售后服務(wù)工作,及時接收用戶反饋的問題。

免費(fèi)的電話咨詢和服務(wù);

反饋時間不超過2小時;

如果需要到現(xiàn)場服務(wù),質(zhì)保期外的我公司只收取人員的差旅費(fèi)(北京市內(nèi)除外)質(zhì)保期外的,硬件如果需要更換或修理,只收取硬件的成本;

設(shè)備正常運(yùn)行驗(yàn)收后,我公司指派專業(yè)工程師負(fù)責(zé)在現(xiàn)場為貴單位提供不受人員限制的產(chǎn)品設(shè)備培訓(xùn),培訓(xùn)內(nèi)容包括:設(shè)備正確操作使用知識;識別初級故障及必要的恢復(fù)方法;常見故障排除方法。





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