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（1）真空泵的溫度過高。1.泵送氣體的溫度過高。 進入真空泵之前，應先冷卻氣體。  2.抽吸硬物以磨損真空泵體。 應當拆卸真空泵以清除硬物，并修理或更換刮擦的部件。  3.真空泵的冷卻泵流量不足。 冷卻水流量應增加。  4.組裝不當會導致轉子軸移動并造成單面磨損。 應該將其拆下來檢查并重新組裝。

  （2）真空泵油有問題。  1.油位太低。 在油標的中心線中添加足夠的油。  2.油被污染，油質惡化。 應更換新機油。  3.油的等級不匹配。 應當更換品牌的真空泵油。  4.機油回路未打開，并且真空泵腔體中未保持適量的機油。 檢查機油回路和閥門的進氣口，以保持機油回路打開。

  （3）真空泵本身正在泄漏：1.密封件正在泄漏。 應檢查所有密封部件的密封狀況，更換損壞的密封件。2.氣鎮閥墊圈已損壞：或未擰緊。 應更換墊片，并應擰緊氣鎮閥；  3.排氣閥盤損壞，密封不良。 應更換空氣閥；  4.將隔膜壓入真空泵時，干擾量太大，導致真空泵腔變形并泄漏。 應修剪或更換真空泵腔。  5.由于真空泵端面上的油封不良而導致的泄漏。 應卸下端蓋，檢查是否有雜物或不平整，并清潔或修理。

  （4）轉子與彈簧變形或斷裂，轉子無法工作。 應進行修理或更換以使彈簧變形，以使轉子蓄能器正確安裝。

  （5）進氣口的過濾器堵塞。 過濾器應卸下，清洗然后重新安裝

  （6）由于加工不良或磨損，裝配間隙太大。 應檢查真空泵腔體，轉子，轉子和端蓋之間的裝配間隙，并應修理或更換規定的精度要求。

  （7）真空泵運行期間的摩擦加熱。 溫度升高過高，會使真空泵油變稀，密封性變差。 應使用冷卻水或電風扇降低溫度。 同時，檢查相關組件的裝配間隙并根據的精度要求進行修理或更換。

  電機和真空泵運行異常。 電機過載，并且真空泵異常嘈雜，嘈雜，難以旋轉或“卡死”。

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